Metody zápisu nanostruktur rastrovací sondou

  • M. Urbánek Ústav přístrojové techniky, AV ČR, v.v.i., Brno
  • S. Krátký Ústav přístrojové techniky, AV ČR, v.v.i., Brno
  • M. Matějka Ústav přístrojové techniky, AV ČR, v.v.i., Brno
  • V. Kolařík Ústav přístrojové techniky, AV ČR, v.v.i., Brno
  • M. Horáček Ústav přístrojové techniky, AV ČR, v.v.i., Brno
Klíčová slova: zápis rastrovací sondou, lokální anodická oxidace, rytí hrotem, mikroskopie atomárních sil

Abstrakt

AFM (atomic force microscopy) nanolithography can be used for preparation of nanostructures in various fields such as nanodevices, nanoantenas and biosensors. Several methods of AFM nanolithography (local anodic oxidation, electron resist exposure, dip pen nanolithography and nanoscratching), their advantages and essential properties are described.

Publikované
2014-10-15
Sekce
Články

Nejaktuálnější články stejného autora (stejných autorů)